單晶爐是一種在比較惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅的等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。單晶爐型號(hào)有兩種命名的方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號(hào)是由裝料量來(lái)決定的。單晶爐的構(gòu)成主要包括:
提拉頭:主要由安裝盤減速機(jī)籽晶腔劃線環(huán)電機(jī)磁流體籽晶稱重頭軟波紋管、
導(dǎo)電滑環(huán)等其他部件組成
副室:主要是副室筒以及上下及法蘭組成
爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗抽真空管道組成
爐筒:包括取光孔
下爐筒:包括抽真空管道
底座機(jī)架:主要是全鑄鐵機(jī)架和底座
坩堝下傳動(dòng)裝置:主要由磁流體電機(jī)坩堝支撐軸減速機(jī)軟波紋管立柱上下傳動(dòng)支撐架導(dǎo)軌等部件組成
分水器已經(jīng)是水路布置:包括分水器,進(jìn)水水管,若干膠管水管卡套等
氬氣管道布置:質(zhì)量流量計(jì)3根以上的柔性管不銹鋼管3個(gè)壓力探測(cè)器高密封性卡套等部件
真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵水環(huán)真空泵過(guò)濾器真空管道硬波紋管等
電源以及電控柜:電源柜濾波柜控制柜以及連接線。
導(dǎo)電滑環(huán)作為單晶爐上一個(gè)重要的零配件,也起著非常重要的作用。導(dǎo)電滑環(huán)是用于提拉頭信號(hào)傳輸及電源供給的,通過(guò)360°的旋轉(zhuǎn)來(lái)傳遞電流及信號(hào)。所以一旦導(dǎo)電滑環(huán)出現(xiàn)故障,提拉頭信號(hào)就無(wú)法正常傳輸,就會(huì)導(dǎo)致單晶爐無(wú)法正常運(yùn)作。